לחומר גבישי יחיד מסוג סיליקון קרביד (SiC) יש רוחב פער פס גדול (פי 3~Si), מוליכות תרמית גבוהה (פי 3.3 סי' או פי 10 GaAs), קצב נדידת רוויון אלקטרונים גבוה (פי 2.5~), פירוק חשמלי גבוה. שדה (~Si פי 10 או GaAs פי 5) ומאפיינים בולטים אחרים.
Semicera Energy יכולה לספק ללקוחות מצע סיליקון קרביד מוליך (מוליך), חצי מבודד (חצי מבודד), HPSI (High Purity semi-insulating) באיכות גבוהה; בנוסף, אנו יכולים לספק ללקוחות יריעות אפיטקסיאליות הומוגניות והטרוגניות של סיליקון קרביד; אנו יכולים גם להתאים את הגיליון האפיטקסיאלי לפי הצרכים הספציפיים של הלקוחות, ואין כמות הזמנה מינימלית.
| פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| פרמטרים של קריסטל | |||
| פוליטייפ | 4H | ||
| שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
| פרמטרים חשמליים | |||
| דופנט | חנקן מסוג n | ||
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
| פרמטרים מכניים | |||
| קוֹטֶר | 99.5 - 100 מ"מ | ||
| עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
| כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 32.5±1.5 מ"מ | ||
| מיקום שטוח משני | 90° CW מהדירה הראשונית ±5°. סיליקון עם הפנים כלפי מעלה | ||
| אורך שטוח משני | 18±1.5 מ"מ | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤20 מיקרומטר |
| LTV | ≤2 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | NA |
| קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| לְעַקֵם | ≤20 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤50 מיקרומטר |
| חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| מִבְנֶה | |||
| צפיפות מיקרופייפ | ≤1 ea/cm2 | ≤5 ea/cm2 | ≤10 ea/cm2 |
| זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| איכות חזית | |||
| חֲזִית | Si | ||
| גימור פני השטח | Si-face CMP | ||
| חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
| שריטות | ≤2ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
| קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
| סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
| איכות גב | |||
| גימור אחורי | C-face CMP | ||
| שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
| פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
| חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
| קָצֶה | |||
| קָצֶה | Chamfer | ||
| אריזה | |||
| אריזה | את השקית הפנימית ממלאים בחנקן והשקית החיצונית שואבת אבק. קלטת ריבוי פרוסות, מוכנה לאפי. | ||
| *הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. | |||
