מטילי SiC מסוג 4", 6" ו-8 אינץ' N מייצגים פריצת דרך בחומרי מוליכים למחצה, שנועדו לעמוד בדרישות ההולכות וגדלות של מערכות אלקטרוניות וחשמל מודרניות. מטילי אלו מספקים בסיס יציב ויציב ליישומי מוליכים למחצה שונים, מה שמבטיח אופטימליות ביצועים ואריכות ימים.
מטילי ה-SiC שלנו מסוג N מיוצרים באמצעות תהליכי ייצור מתקדמים המשפרים את המוליכות החשמלית והיציבות התרמית שלהם. זה הופך אותם לאידיאליים עבור יישומים בעלי הספק גבוה ותדרים גבוהים, כגון ממירים, טרנזיסטורים ומכשירים אלקטרוניים חשמליים אחרים שבהם היעילות והאמינות הם בעלי חשיבות עליונה.
הסימום המדויק של המטילים הללו מבטיח שהם מציעים ביצועים עקביים וניתנים לחזרה. עקביות זו היא קריטית עבור מפתחים ויצרנים שפורצים את גבולות הטכנולוגיה בתחומים כמו תעופה וחלל, רכב וטלקומוניקציה. מטילי SiC של Semicera מאפשרים ייצור של מכשירים הפועלים ביעילות בתנאים קיצוניים.
בחירת מטילי SiC מסוג N של Semicera פירושה שילוב חומרים שיכולים להתמודד עם טמפרטורות גבוהות ועומסים חשמליים גבוהים בקלות. מטיל אלו מתאימים במיוחד ליצירת רכיבים הדורשים ניהול תרמי מעולה ותפעול בתדר גבוה, כגון מגברי RF ומודול הספק.
על ידי בחירה במטילי SiC 4", 6" ו-8" N מסוג SiC, אתה משקיע במוצר המשלב תכונות חומר יוצאות דופן עם הדיוק והאמינות הנדרשים על ידי טכנולוגיות מוליכים למחצה מתקדמות. Semicera ממשיכה להוביל את התעשייה על ידי מתן פתרונות חדשניים המניעים את התקדמות ייצור המכשירים האלקטרוניים.
| פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| פרמטרים של קריסטל | |||
| פוליטייפ | 4H | ||
| שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
| פרמטרים חשמליים | |||
| דופנט | חנקן מסוג n | ||
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
| פרמטרים מכניים | |||
| קוֹטֶר | 150.0±0.2 מ"מ | ||
| עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
| כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 47.5±1.5 מ"מ | ||
| דירה משנית | אַף לֹא אֶחָד | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר |
| LTV | ≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) |
| קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| לְעַקֵם | ≤35 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤55 מיקרומטר |
| חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| מִבְנֶה | |||
| צפיפות מיקרופייפ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| איכות חזית | |||
| חֲזִית | Si | ||
| גימור פני השטח | Si-Face CMP | ||
| חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
| שריטות | ≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
| קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | ||
| אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
| סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
| איכות גב | |||
| גימור אחורי | C-face CMP | ||
| שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
| פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
| חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
| קָצֶה | |||
| קָצֶה | Chamfer | ||
| אריזה | |||
| אריזה | אפי מוכן עם אריזת ואקום אריזת קסטות מרובות ופל | ||
| *הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. | |||
