Substrate 3C-SiC Wafer של Semicera מתוכננים לספק פלטפורמה איתנה לאלקטרוניקה כוח מהדור הבא ולהתקני תדר גבוה. עם תכונות תרמיות ומאפיינים חשמליים מעולים, מצעים אלה נועדו לעמוד בדרישות התובעניות של הטכנולוגיה המודרנית.
מבנה ה-3C-SiC (Cubic Silicon Carbide) של מצע של Semicera Wafer מציע יתרונות ייחודיים, לרבות מוליכות תרמית גבוהה יותר ומקדם התפשטות תרמית נמוך יותר בהשוואה לחומרים מוליכים למחצה אחרים. זה הופך אותם לבחירה מצוינת עבור מכשירים הפועלים תחת טמפרטורות קיצוניות ותנאי הספק גבוה.
עם מתח פירוק חשמלי גבוה ויציבות כימית מעולה, מצעים של Semicera 3C-SiC Wafer מבטיחים ביצועים ואמינות לאורך זמן. מאפיינים אלה הם קריטיים עבור יישומים כגון מכ"ם בתדר גבוה, תאורת מצב מוצק וממירי כוח, שבהם היעילות והעמידות הם בעלי חשיבות עליונה.
המחויבות של Semicera לאיכות באה לידי ביטוי בתהליך הייצור הקפדני של מצע ה-3C-SiC Wafer שלהם, המבטיח אחידות ועקביות בכל אצווה. דיוק זה תורם לביצועים הכוללים ולאריכות החיים של המכשירים האלקטרוניים הבנויים עליהם.
על ידי בחירה ב-Semicera 3C-SiC Wafer Substrates, היצרנים מקבלים גישה לחומר חדשני המאפשר פיתוח של רכיבים אלקטרוניים קטנים, מהירים ויעילים יותר. Semicera ממשיכה לתמוך בחדשנות טכנולוגית על ידי מתן פתרונות אמינים העונים על הדרישות המתפתחות של תעשיית המוליכים למחצה.
| פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| פרמטרים של קריסטל | |||
| פוליטייפ | 4H | ||
| שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
| פרמטרים חשמליים | |||
| דופנט | חנקן מסוג n | ||
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
| פרמטרים מכניים | |||
| קוֹטֶר | 150.0±0.2 מ"מ | ||
| עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
| כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 47.5±1.5 מ"מ | ||
| דירה משנית | אַף לֹא אֶחָד | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר |
| LTV | ≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) |
| קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| לְעַקֵם | ≤35 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤55 מיקרומטר |
| חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| מִבְנֶה | |||
| צפיפות מיקרופייפ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| איכות חזית | |||
| חֲזִית | Si | ||
| גימור פני השטח | Si-Face CMP | ||
| חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
| שריטות | ≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
| קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | ||
| אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
| סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
| איכות גב | |||
| גימור אחורי | C-face CMP | ||
| שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
| פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
| חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
| קָצֶה | |||
| קָצֶה | Chamfer | ||
| אריזה | |||
| אריזה | אפי מוכן עם אריזת ואקום אריזת קסטות מרובות ופל | ||
| *הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. | |||
