של Semicera10x10 מ"מ מצע אלומיניום לא קוטבי M-planeמתוכנן בקפידה כדי לעמוד בדרישות המדויקות של יישומים אופטו-אלקטרוניים מתקדמים. מצע זה כולל כיוון M-plane לא קוטבי, שהוא קריטי להפחתת השפעות הקיטוב במכשירים כגון LEDs ודיודות לייזר, מה שמוביל לביצועים ויעילות משופרים.
ה10x10 מ"מ מצע אלומיניום לא קוטבי M-planeעשוי באיכות גבישית יוצאת דופן, המבטיח צפיפות פגמים מינימלית ושלמות מבנית מעולה. זה הופך אותו לבחירה אידיאלית לצמיחה אפיטקסיאלית של סרטי III-ניטריד באיכות גבוהה, החיוניים לפיתוח מכשירים אופטו-אלקטרוניים מהדור הבא.
הנדסת הדיוק של Semicera מבטיחה שכל אחד מהם10x10 מ"מ מצע אלומיניום לא קוטבי M-planeמציע עובי עקבי ושטיחות פני השטח, שהם חיוניים להנחת סרט אחיד וייצור המכשיר. בנוסף, הגודל הקומפקטי של המצע הופך אותו למתאים הן לסביבות מחקר והן לסביבות ייצור, מה שמאפשר שימוש גמיש במגוון יישומים. עם היציבות התרמית והכימית המעולה שלו, מצע זה מספק בסיס אמין לפיתוח טכנולוגיות אופטו-אלקטרוניות מתקדמות.
| פריטים | הֲפָקָה | מֶחקָר | דֶמֶה |
| פרמטרים של קריסטל | |||
| פוליטייפ | 4H | ||
| שגיאת כיוון פני השטח | <11-20 >4±0.15° | ||
| פרמטרים חשמליים | |||
| דופנט | חנקן מסוג n | ||
| הִתנַגְדוּת סְגוּלִית | 0.015-0.025 אוהם·ס"מ | ||
| פרמטרים מכניים | |||
| קוֹטֶר | 150.0±0.2 מ"מ | ||
| עוֹבִי | 350±25 מיקרומטר | ||
| כיוון שטוח ראשוני | [1-100]±5° | ||
| אורך שטוח ראשוני | 47.5±1.5 מ"מ | ||
| דירה משנית | אַף לֹא אֶחָד | ||
| TTV | ≤5 מיקרומטר | ≤10 מיקרומטר | ≤15 מיקרומטר |
| LTV | ≤3 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤5 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) | ≤10 מיקרומטר (5 מ"מ*5 מ"מ) |
| קֶשֶׁת | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| לְעַקֵם | ≤35 מיקרומטר | ≤45 מיקרומטר | ≤55 מיקרומטר |
| חספוס קדמי (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| מִבְנֶה | |||
| צפיפות מיקרופייפ | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| זיהומי מתכת | ≤5E10אטומים/סמ"ר | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| איכות חזית | |||
| חֲזִית | Si | ||
| גימור פני השטח | Si-Face CMP | ||
| חלקיקים | ≤60ea/wafer (גודל≥0.3μm) | NA | |
| שריטות | ≤5ea/mm. אורך מצטבר ≤קוטר | אורך מצטבר≤2*קוטר | NA |
| קליפת תפוז / חרצנים / כתמים / פסים / סדקים / זיהום | אַף לֹא אֶחָד | NA | |
| שבבי קצה/חריצים/שבר/צלחות משושה | אַף לֹא אֶחָד | ||
| אזורים פוליטיפיים | אַף לֹא אֶחָד | שטח מצטבר ≤20% | שטח מצטבר ≤30% |
| סימון לייזר קדמי | אַף לֹא אֶחָד | ||
| איכות גב | |||
| גימור אחורי | C-face CMP | ||
| שריטות | ≤5ea/mm, אורך מצטבר≤2*קוטר | NA | |
| פגמים בגב (שבבי קצה/חריצים) | אַף לֹא אֶחָד | ||
| חספוס גב | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| סימון לייזר אחורי | 1 מ"מ (מהקצה העליון) | ||
| קָצֶה | |||
| קָצֶה | Chamfer | ||
| אריזה | |||
| אריזה | אפי מוכן עם אריזת ואקום אריזת קסטות מרובות ופל | ||
| *הערות: "NA" פירושו ללא בקשה פריטים שאינם מוזכרים עשויים להתייחס ל-SEMI-STD. | |||
