Semicera מספקת ציפויי טנטלום קרביד (TaC) מיוחדים עבור רכיבים ונשאים שונים.תהליך הציפוי המוביל של Semicera מאפשר לציפויי טנטלום קרביד (TaC) להשיג טוהר גבוה, יציבות בטמפרטורה גבוהה וסבילות כימית גבוהה, ובכך לשפר את איכות המוצר של גבישי SIC/GAN ושכבות EPI.קלט TaC מצופה גרפיט), והארכת חיי רכיבי הכור המרכזיים. השימוש בציפוי TaC בטנטלום קרביד נועד לפתור את בעיית הקצוות ולשפר את איכות צמיחת הגביש, ו-Semisera פתרה את טכנולוגיית ציפוי הטנטלום קרביד (CVD) באופן פורץ דרך, והגיעה לרמה מתקדמת בינלאומית.
עם הופעתם של פרוסות סיליקון קרביד (SiC) בגודל 8 אינץ', הדרישות לתהליכי מוליכים למחצה שונים הפכו מחמירות יותר ויותר, במיוחד עבור תהליכי אפיטקסיה שבהם הטמפרטורות יכולות לעלות על 2000 מעלות צלזיוס. חומרי סוספטור מסורתיים, כגון גרפיט מצופה בסיליקון קרביד, נוטים להתעבות בטמפרטורות גבוהות אלו, דבר המשבש את תהליך האפיטקסיה. עם זאת, טנטלום קרביד (TaC) מסוג CVD מטפל ביעילות בבעיה זו, עומד בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס ומציע חיי שירות ארוכים יותר. צרו קשר עם Semicera's חלקים בהתאמה אישית של ציפוי טנטלום קרביד TaC CVDכדי לחקור עוד על הפתרונות המתקדמים שלנו.
עם ובלי TaC
לאחר שימוש ב-TaC (מימין)
יתר על כן, של סמיקרהמוצרים מצופים TaCמציגים חיי שירות ארוכים יותר ועמידות גבוהה יותר בטמפרטורות גבוהות בהשוואה ל-ציפויי SiC.מדידות מעבדה הוכיחו כי שלנוציפויי TaCיכול לפעול באופן עקבי בטמפרטורות של עד 2300 מעלות צלזיוס למשך תקופות ממושכות. להלן מספר דוגמאות לדוגמאות שלנו:
